[发明专利]一种用于单频激光干涉仪位移计算的方法在审
申请号: | 202211051763.X | 申请日: | 2022-08-31 |
公开(公告)号: | CN115523842A | 公开(公告)日: | 2022-12-27 |
发明(设计)人: | 吴光;庞程凯;张虹桥;陆思诺 | 申请(专利权)人: | 华东师范大学 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
代理公司: | 上海蓝迪专利商标事务所(普通合伙) 31215 | 代理人: | 徐筱梅;张翔 |
地址: | 200241 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于单频激光干涉仪位移计算的方法,其特点是该方法采用分包归一化的方法将干涉信号采样点分割为多组数据,每组数据单独进行归一化处理,并将分包后的每组数据再次分割为多个数据段进行相正交干涉信号交点识别,数据组位移计算通过第一个交点前数据段、最后一个交点后数据段以及交点间数据段单独计算,获得单组数据对应位移量,将所有数据组计算获得位移量汇总,实现目标物总位移量测量。本发明与现有技术相比具有较强的抗干扰能力,目标位移测量精度高,更好的满足精密测量的应用需求,方法简便,检测成本低,进一步拓宽了激光干涉仪在工业环境中的应用场景。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 激光 干涉仪 位移 计算 方法 | ||
【主权项】:
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