[发明专利]一种高制作容差的亚波长光栅耦合器在审
| 申请号： | 202211051985.1 | 申请日： | 2022-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN115343805A | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 程振洲;陈威成;万典;贺祺;胡浩丰;刘铁根 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G02B6/124 | 分类号： | G02B6/124 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 刘子文 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开一种高制作容差的亚波长光栅耦合器，设置在光波导层上，所述光栅耦合器包括若干个光栅周期，每个光栅周期依次由第一孔状亚波长结构、第一平面波导区域、第二孔状亚波长结构和第二平面波导区域组成，所述第一孔状亚波长结构由若干个穿透设置在光波导层上且成等间距周期性排列的大穿透孔组成，所述第二孔状亚波长结构由若干个穿透设置在光波导层上且成等间距周期性排列的小穿透孔组成，每个所述光栅周期通过组合第一孔状亚波长结构和第二孔状亚波长结构，实现对光栅耦合器中亚波长结构的占空比的增加；第一孔状亚波长结构与第二孔状亚波长结构组合，可以降低光栅耦合器的有效折射率，增加光栅耦合器的制作容差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制作 波长 光栅 耦合器 | ||
【主权项】：
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