[发明专利]一种提升管状靶材装粉密度的装置系统和方法在审

专利信息
申请号: 202211055870.X 申请日: 2022-08-31
公开(公告)号: CN115319886A 公开(公告)日: 2022-11-11
发明(设计)人: 姚力军;潘杰;黄文杰;周友平;廖培君 申请(专利权)人: 宁波江丰电子材料股份有限公司
主分类号: B28B1/087 分类号: B28B1/087;B28B3/00
代理公司: 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 代理人: 韩承志
地址: 315400 浙江省宁波市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明提供了一种提升管状靶材装粉密度的装置系统和方法,所述装置系统包括:气动振动装置、管状包套、夹具与锁紧螺丝;所述气动振动装置与所述夹具之间可拆卸连接,所述管状包套在所述夹具中间,所述夹具与所述管状包套之间可拆卸连接;所述靶材粉末在所述提升管状靶材装粉密度的装置系统中进行装粉并振实,管状靶材装粉密度得到提升;所述装置系统以气动振动装置替代现有振动平台对管状靶材粉末进行振实,靶材装粉密度得到提升,且装置体积较小,方便携带至各工段进行生产。
搜索关键词: 一种 提升 管状 靶材装粉 密度 装置 系统 方法
【主权项】:
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