[发明专利]单晶制造方法、单晶制造装置和坩埚在审
| 申请号： | 202211082721.2 | 申请日： | 2022-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN115787065A | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 高尾健太;古川大希;田中谦弥;阿部舞;长谷川贵史;梅野彻 | 申请（专利权）人： | 日立金属株式会社 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B27/02;C30B29/36;C30B15/10;C30B15/14;C30B15/20 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;程采 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明要解决的技术问题在于减少溶液内所产生的杂晶。本发明解决技术问题的方案在于提供一种单晶制造方法，其包括：以使与坩埚的侧面接触的溶液的温度高于与坩埚的底面接触的溶液的温度的方式，对溶液进行加热的第一加热工序；和以使与坩埚的底面接触的溶液的温度高于与坩埚的侧面接触的溶液的温度的方式，对溶液进行加热的第二加热工序，第一加热工序和第二加热工序能够交替切换。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 方法 装置 坩埚 | ||
【主权项】：
暂无信息
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