[发明专利]一种PVD与ALD复合涂层及其制备方法在审
| 申请号： | 202211084937.2 | 申请日： | 2022-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN115369403A | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 赵明华 | 申请（专利权）人： | 森科五金（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00;C23C28/04;C23C14/06;C23C16/40;C23C16/455;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 崔颖 |
| 地址： | 518035 广东省深圳市光明*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本申请涉及原子层沉积领域，具体公开了一种PVD与ALD复合涂层及其制备方法。PVD与ALD复合涂层包括底色层和干涉层，底色层通过磁控溅射法沉积于三维工件表面，干涉层采用原子层沉积法沉积在底色层上，底色层为CrSiCN、CrSiN、CrN、Cr、TiN和TiCN中的一种或几种，干涉层为Al |
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| 搜索关键词： | 一种 pvd ald 复合 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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