[发明专利]三自由度纳米操纵及双轴倾转的透射电子显微镜样品杆有效
| 申请号： | 202211086150.X | 申请日： | 2022-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN115295384B | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | 陈盈锋;涂冬明;刘志健 | 申请（专利权）人： | 杭州纳控科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/26 |
| 代理公司： | 杭州裕阳联合专利代理有限公司 33289 | 代理人： | 金方玮 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市萧山区经济*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种三自由度纳米操纵及双轴倾转的透射电子显微镜样品杆，包含：驱动杆架、驱动轴、X‑α驱动单元、Y‑Z驱动单元和β驱动单元；Y‑Z驱动单元包含：Y‑Z压电驱动件、关节球座、关节球、第一压件、第二压件和转接铜管；β驱动单元包含：β驱动基板、β压电驱动件、β驱动耐磨片、β驱动扇形动子和探针；β驱动扇形动子沿着垂直于驱动轴的轴线转动连接至第二压件；探针连接至β驱动扇形动子；β驱动耐磨片抵触β驱动扇形动子。本发明的三自由度纳米操纵及双轴倾转的透射电子显微镜样品杆，通过高度的集成化设计，使β倾转完全集成在样品杆活动端，解决了现有技术无法适用于狭小极靴场景的问题以及现有技术高分辨成像下样品漂移的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 自由度 纳米 操纵 双轴倾转 透射 电子显微镜 样品 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于杭州纳控科技有限公司，未经杭州纳控科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202211086150.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种破碎机
- 下一篇：一种永临结合可预制的膜壳承台结构及其施工方法
