[发明专利]共焦测量系统及其测量方法在审
| 申请号： | 202211087384.6 | 申请日： | 2022-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN115655141A | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 王建立;杨禹凯;王之一;王廷煜;糜小涛;杨永强;全胜;刘昌华;姚凯男 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/26 |
| 代理公司： | 长春众邦菁华知识产权代理有限公司 22214 | 代理人： | 王丹阳 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供一种共焦测量系统及测量方法，共焦测量系统通过位置测量单元中的差动共焦测量组件进行位置距离的测量；通过在差动共焦光路的基础上，加入角度测量单元进而构建测角光路，实现对测量位置的同时进行倾斜角度的测量。本发明所提供的技术方案解决了现有技术中差动共焦显微测距的同时不能测倾斜角度的问题。光学系统的光路简单易于实现。角度测量组件分光测角光路结构简单，成本低。实现了在差动共焦测距的同时，获取待测位置倾斜角度信息，在光学形貌测量，尤其在对微小表面缺陷识别中精度更高。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 系统 及其 测量方法 | ||
【主权项】：
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