[发明专利]一种三氯氢硅生产残液处理方法

摘要

本发明公开了一种三氯氢硅生产残液处理方法，涉及三氯氢硅生产设备技术领域。本发明具体包括以下处理步骤：S1、渣浆收集；S2、渣浆输入；S3、薄膜蒸发；S4、气体回收；S5、固体回收。本发明通过利用加热管、加热套和热交换器膜蒸发器主体的送热管通过热交换器与生产设备中的还原炉的热力系统管连接，进而达到废热资源在利用的目的，将该部分废热输入到加热套的内部，废热不但用于薄膜蒸发器主体的预热工作和主体加热蒸发工作，过高废渣浆输入到预存箱内，高废渣浆也可通过预存箱输入到薄膜蒸发器主体的放液管中，并且预存箱内设置有泵机，通过泵机可达到调节渣浆的输送快慢效果，放液管呈U型结构，可避免渣浆堆积在管道内使其堵塞现象发生。