[发明专利]一种晶圆盒形变量的检测装置及方法有效
| 申请号： | 202211107280.7 | 申请日： | 2022-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN115200497B | 公开（公告）日： | 2022-12-09 |
| 发明（设计）人： | 王光耀;李斌;魏汝省;侯晓蕊;张继光;刘英斌;张峰;张馨丹;靳霄曦 | 申请（专利权）人： | 山西烁科晶体有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/16 | 分类号： | G01B11/16 |
| 代理公司： | 太原高欣科创专利代理事务所(普通合伙) 14109 | 代理人： | 孟肖阳;冷锦超 |
| 地址： | 030006 山西省*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种晶圆盒形变量的检测装置及方法，属于半导体晶圆检测技术领域；解决现有技术中对晶圆盒形变检测准确性差、效率低的问题；解决该技术问题采用的技术方案为：包括检测平台，检测平台上设置有用于放置晶圆盒的限位基台，限位基台的两端分别装配在两个第二导轨上，垂直于第二导轨的方向上设置有第一导轨，第一导轨上设置有激光发射系统和激光光斑接收系统，通过激光发射系统和激光光斑接收系统可兼容对4inch、6inch、8inch标准晶圆盒的检测，同时可对晶圆盒各个表面的形变量进行检测；本发明应用于晶圆盒形变检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆盒 形变 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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