[发明专利]具有改进的性能的检测结构的Z轴线谐振加速度计在审
| 申请号： | 202211115999.5 | 申请日： | 2022-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN115808542A | 公开（公告）日： | 2023-03-17 |
| 发明（设计）人： | V·泽加;G·加特瑞;A·弗兰吉;A·奥普雷尼;M·里亚尼 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/097 | 分类号： | G01P15/097 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 崔慧玲 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开的实施例涉及具有改进的性能的检测结构的Z轴线谐振加速度计。检测结构包括惯性质量块，惯性质量块悬置在衬底上方，并且具有提供在惯性质量块并且在惯性质量块的整个厚度上穿过它的窗口。惯性质量块通过扭转类型的第一锚定弹性元件和第二锚定弹性元件耦合到主锚定件，主锚定件布置在窗口中，并且与衬底一体。检测结构还包括具有纵向延伸的至少第一谐振元件，第一谐振元件耦合在第一弹性元件和布置在窗口中的第一约束元件之间。第一约束元件悬置在衬底上方，通过第一辅助锚定元件固定地耦合到衬底，第一辅助锚定元件在具有纵向延伸的第一谐振元件下方延伸，并且一体地耦合在第一约束元件和主锚定件之间。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 改进 性能 检测 结构 轴线 谐振 加速度计 | ||
【主权项】：
暂无信息
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