[发明专利]一种基于PN异质结的日盲紫外光电探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于PN异质结的日盲紫外光电探测器及其制备方法，探测器包括基底、P型传输层和阴极，所述基底与所述P型传输层之间设有阳极，所述P型传输层与所述阴极之间设有铜基卤化物；制备方法包括：对基底进行清洗和干燥；对干燥后的基底进行紫外臭氧处理；利用热蒸镀法制备阳极；在阳极上旋涂P型传输层；在P型传输层上旋涂铜基卤化物前驱体溶液和反溶剂，进行退火，制得铜基卤化物薄膜；利用热蒸镀法制备阴极，制得基于PN异质结的日盲紫外光电探测器。本发明制备的探测器能够降低器件的暗电流，提高响应速度和响应度，且具有环保的优点。