[发明专利]一种晶粒转移机构

摘要

本发明公开了一种晶粒转移机构，包括竖直设置的吸附腔体，吸附腔体的底部为开放面，该开放面处可拆卸地连接有探针帽，吸附腔体与真空发生装置连接；吸附腔体内竖直设有探针，探针在吸附腔体内上下升降运动，并穿过上述载板承载机构及探针帽向下顶刺载板承载机构内蓝膜载板上的晶粒；探针帽的底部围绕探针穿出部位通过真空负压力向上吸附蓝膜载板上的蓝膜。本发明采用锥形下探部与探孔相配合，利用探孔内径大于锥形下探部外径，且小于探针外径设计，并在探针周围布设辅助吸孔，通过探帽接触蓝膜后利用辅助吸孔形成的真空负压向上吸住蓝膜晶，防止下探部位周围蓝膜形变情况，有效保证晶粒位置稳定性避免掉落。