[发明专利]一种基于温度场重构计算的传感器芯片检测系统在审
| 申请号： | 202211140503.X | 申请日： | 2022-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN115453323A | 公开（公告）日： | 2022-12-09 |
| 发明（设计）人： | 裴艳荣;李文昌 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/04 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 郭梦雅 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种基于温度场重构计算的传感器芯片检测系统，包括上位机、温箱、设置于温箱内的标件组件及检测台组件；标件组件包括：第一支板；多个温度检测单元，均匀间隔设置于第一支板上；采集单元，适用于采集每个温度检测单元所检测的第一温度信号、并将第一温度信号输出至上位机；检测台组件包括：第二支板，适用于可拆卸地安装待检测的传感器芯片，以将每个传感器芯片限制于至少一个温度检测单元检测区域内；以及控制模块，适用于将传感器芯片所检测的第二温度信号输出至上位机；其中，上位机适用于依据第一温度信号对温箱所形成的温度场进行重构计算，根据温箱温度、重构计算结果、第二温度信号和新的第一温度信号，对传感器芯片的精度进行检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 温度场 计算 传感器 芯片 检测 系统 | ||
【主权项】：
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