[发明专利]超快扫描电子显微镜数据自动采集系统及方法在审
| 申请号： | 202211145589.5 | 申请日： | 2022-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN115452873A | 公开（公告）日： | 2022-12-09 |
| 发明（设计）人： | 付学文;于耀诚;张亚卿;陈祥;刘芳 | 申请（专利权）人： | 南开大学 |
| 主分类号： | G01N23/2254 | 分类号： | G01N23/2254;G01N23/2206 |
| 代理公司： | 成都方圆聿联专利代理事务所(普通合伙) 51241 | 代理人： | 张淑枝 |
| 地址： | 300071*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种超快扫描电子显微镜数据自动采集系统及方法，数据采集计算机同时与光学延迟线和SEM控制计算机进行实时通讯，以起到二者的即时控制和相互触发的作用，它们与SEM等实验设备共同组成了SUEM数据自动采集系统。在数据采集计算机中，本发明通过分别调用相关接口控制光学延迟线的移动和SEM的图像采集功能来实现SUEM的数据自动采集工作，实验人员只需要在数据采集计算机中，启动相应数据采集系统，设置好相应的数据采集参数，并连接延迟线和SEM，设定好SEM图像采集参数，即可进行一键式数据自动采集工作。本发明解决了当前超快扫描电子显微镜数据人工采集的重复性高、时间成本大和易操作失误等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 电子显微镜 数据 自动 采集 系统 方法 | ||
【主权项】：
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