[发明专利]一种形貌参数预测模型的构建方法及形貌参数测量方法在审
| 申请号： | 202211146509.8 | 申请日： | 2022-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN115422843A | 公开（公告）日： | 2022-12-02 |
| 发明（设计）人： | 吴华希;郭春付 | 申请（专利权）人： | 上海精测半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/27 | 分类号： | G06F30/27;G06K9/62;G06F119/02 |
| 代理公司： | 武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙) 42242 | 代理人： | 范三霞 |
| 地址： | 201700 上海市青浦区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种形貌参数预测模型的构建方法及形貌参数测量方法，构建方法包括：获取多个标准样件上的每一个标准设计结构的测量光谱和形貌参数，对每一条测量光谱进行波长分隔采样，得到多个隔断采样光谱，基于每一条隔断采样光谱和对应的实际形貌参数构建第一模型，以及基于第一模型输出的预测形貌参数和实际形貌参数构建第二模型，第一模型和第二模型构成形貌参数预测模型，基于预测模型对待测样件的形貌参数进行预测。本发明公开的方法将传统机器学习模型应用至光学精密测量领域，通过对测量光谱数据进行波长拆分的处理扩充样本完成对预测模型的优化，有效防止了训练过程中的过拟合，避免了维度灾难，有效提升了由光谱计算结构参数的鲁棒性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 形貌 参数 预测 模型 构建 方法 测量方法 | ||
【主权项】：
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