[发明专利]调制器及其制作方法在审
| 申请号： | 202211152297.4 | 申请日： | 2022-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN115421322A | 公开（公告）日： | 2022-12-02 |
| 发明（设计）人： | 胡晓;刘阳;刘晔;刘佳;肖希;陈代高;王磊 | 申请（专利权）人： | 武汉光谷信息光电子创新中心有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/035 | 分类号： | G02F1/035;G02F1/03 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 张竞存;张颖玲 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市东湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本公开实施例公开了一种调制器及其制作方法，所述调制器包括：第一半导体结构，包括：驱动芯片；波导结构，位于覆盖所述驱动芯片的介质层中；导电结构，与所述波导结构并列设置，且贯穿所述介质层；第二半导体结构，与所述第一半导体结构堆叠设置，包括：电光调制结构，覆盖所述介质层相对远离所述驱动芯片的表面，且通过所述导电结构与所述驱动芯片电连接；其中，所述电光调制结构被配置为：当被所述驱动芯片供电时，调制所述波导结构中传输的光信号。 | ||
| 搜索关键词： | 调制器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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