[发明专利]一种声波谐振器及其制造方法、滤波器和电子设备在审
| 申请号： | 202211153689.2 | 申请日： | 2022-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN115603697A | 公开（公告）日： | 2023-01-13 |
| 发明（设计）人： | 李林萍 | 申请（专利权）人： | 见闻录（浙江）半导体有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/02;H03H3/02 |
| 代理公司： | 厦门福贝知识产权代理事务所(普通合伙) 35235 | 代理人： | 陈远洋 |
| 地址： | 313000 浙江省湖州市南*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提出一种谐振器，包括衬底；形成在衬底上的底电极层、顶电极层和压电层；以及形成在底电极层与衬底之间的声学反射结构；其中，在声波谐振器的有效谐振区域的末端，顶电极层与压电层之间具有第一间隙和/或底电极层与压电层之间具有第二间隙，并且第一间隙的最顶面不高于位于有效谐振区域内的顶电极层的最下表面，第二间隙的最顶面不高于位于有效谐振区域内的底电极层的最上表面。通过在谐振器的有效谐振区域的末端设置间隙，分离电极层和压电层，减少横波从工作区域向外界传递；具备该间隙结构的谐振器相对于现有技术具有更好的机械稳定性，同时，在生产过程中无需对压电层进行额外处理，从而结构稳定性和一致性较高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 声波 谐振器 及其 制造 方法 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】：
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