[发明专利]基于差分共焦系统的测量方法及其测量装置在审
| 申请号： | 202211156460.4 | 申请日： | 2022-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN115420197A | 公开（公告）日： | 2022-12-02 |
| 发明（设计）人： | 王廷煜;王之一;王建立;杨禹凯;糜小涛;杨永强 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/06 |
| 代理公司： | 长春众邦菁华知识产权代理有限公司 22214 | 代理人： | 王丹阳 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于差分共焦系统的测量方法及其测量装置，测量方法通过驱动物镜定位器沿光轴方向移动，以带动物镜进行移动，并对物镜定位器的位移数据、焦前光电探测器和焦后光电探测器的光强度数据进行采样，对数据进行分析，获取待测物的位置信息。本发明提供的方法在通过聚焦误差信号进行测距时，对于一个待测点的测量只需要将物镜驱动一次，同时采集物镜位移数据、焦前光电探测器和焦后光电探测器的光强度数据，即可通过对采集数据做差分处理，利用最小二乘法对差分信号线性区域进行线性拟合，提取过零点位置对应物镜定位器位置作为测距信息，避免了现有技术中在获取差动共焦响应曲线的过零点出现误差，就会对测距的结果产生影响。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 差分共焦 系统 测量方法 及其 测量 装置 | ||
【主权项】：
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