[发明专利]一种氧化物纳米纤维及其制备方法、一种双极性薄膜晶体管及其制备方法在审
| 申请号： | 202211162168.3 | 申请日： | 2022-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN115537971A | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 李栋;王军;李俊 | 申请（专利权）人： | 上海应用技术大学 |
| 主分类号： | D01F8/18 | 分类号： | D01F8/18;D01F9/08;D01D5/00;H01L29/786;H01L21/34 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 霍苗 |
| 地址： | 201418 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于薄膜晶体管技术领域，具体涉及一种氧化物纳米纤维及其制备方法、一种双极性薄膜晶体管及其制备方法。本发明提供了一种氧化物纳米纤维，包括纤维芯和依次包覆在所述纤维芯外表面的第一包覆层和第二包覆层；所述纤维芯包括P型半导体材料；所述第一包覆层包括氧化铝；所述第二包覆层包括N型半导体材料。将本发明提供的氧化物纳米纤维作为有源层的制备材料应用于双极性薄膜晶体管中，能够构建有源层和绝缘层的三维界面结构，提升晶体管的栅控能力；同时通过调整纳米氧化物纤维的定向分布，实现双极性载流子传输，提升晶体管的载流子迁移率，降低双极性薄膜晶体管的功耗，进而制备得到高性能的双极性薄膜晶体管。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化物 纳米 纤维 及其 制备 方法 极性 薄膜晶体管 | ||
【主权项】：
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