[发明专利]一种具有多层结构的高温薄膜铂电阻温度传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202211163114.9 | 申请日： | 2022-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN115541045A | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 蒲健;陈茂;冯江涛;池波 | 申请（专利权）人： | 江苏精瓷智能传感技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | G01K7/18 | 分类号： | G01K7/18 |
| 代理公司： | 常州市夏成专利事务所(普通合伙) 32233 | 代理人： | 张经纶 |
| 地址： | 213000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及传感器的技术领域，尤其涉及一种具有多层结构的高温薄膜铂电阻温度传感器，包括氧化铝基底，设置于氧化铝基底上的过渡层，设置于过渡层上的第一粘附层，设置于第一粘附层上的铂薄膜电阻层，设置于铂薄膜电阻层上的第二粘附层，设置于第二粘附层上的中间保护层，设置于中间保护层上的玻璃密封层，设置于玻璃密封层上的陶瓷保护层，设置于铂薄膜电阻层上的铂焊盘和铂引线，设置于铂焊盘和铂引线上的焊点保护层，设置于焊点保护层与陶瓷保护层上的封装玻璃层。通过多层结构设计，提高了传感器各层之间的结合力，改善了铂薄膜电阻层的应力状态，提升了传感器的精度，拓宽了其温度测量范围，并使其能在机械振动和热振等恶劣工况下正常工作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 多层 结构 高温 薄膜 铂电阻 温度传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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