[发明专利]一种超高纯铜靶材的扩散焊接方法在审
申请号: | 202211166559.2 | 申请日: | 2022-09-21 |
公开(公告)号: | CN115401307A | 公开(公告)日: | 2022-11-29 |
发明(设计)人: | 姚力军;潘杰;汪焱斌;慕二龙 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
主分类号: | B23K20/02 | 分类号: | B23K20/02;B23K20/24;B23P15/00;B23K101/40;B23K103/12 |
代理公司: | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人: | 韩承志 |
地址: | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供了一种超高纯铜靶材的扩散焊接方法,所述扩散焊接方法包括如下步骤:(1)于超高纯铜靶材的焊接面车削螺纹,依次经异丙醇洗、水洗以及醇洗,得到预处理靶材;(2)组装预处理靶材与铝合金背板,然后进行扩散焊接;步骤(1)所述螺纹的螺距为0.7‑0.75mm,螺纹深度为0.6‑0.65mm。本发明提供的扩散焊接方法在超高纯铜靶材的焊接面加工螺纹,降低了车削加工的刀具损耗;而且,通过螺纹的特定设置,能够降低扩散焊接的温度,并保证焊接质量,使扩散焊接后的靶材组件符合镀膜要求。 | ||
搜索关键词: | 一种 高纯 铜靶材 扩散 焊接 方法 | ||
【主权项】:
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