[发明专利]一种基于MEMS芯片的气敏材料快速筛选装置及方法在审
| 申请号： | 202211168629.8 | 申请日： | 2022-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN115561288A | 公开（公告）日： | 2023-01-03 |
| 发明（设计）人： | 窦新存;郭亚楠;马金龙;李毓姝;朱建成 | 申请（专利权）人： | 中国科学院新疆理化技术研究所 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 乌鲁木齐中科新兴专利事务所(普通合伙) 65106 | 代理人： | 张莉 |
| 地址： | 830011 新疆维吾尔*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于MEMS芯片的气敏材料快速筛选装置及方法，所述装置由集成MEMS芯片、测试腔体、液晶操作屏、功能控制模块、ARM板卡、锂电池、气泵、充电插口、SD卡插槽、电源开关和外壳于一体机：MEMS芯片集成了多通道采集和自加热，为敏感材料提供检测基底和信号采集端口；测试腔体用于固定MEMS芯片并为其提供包括温度、气氛和光照可控及湿度可监测的测试环境；功能控制模块连接ARM板卡，用于为红外测温仪、湿度传感器、紫外灯和气泵提供指令；液晶操作屏连接ARM板卡，用于人机交互，提供温度、光强、时间、气体流速参数的设置，显示通道实时阻值图像、特征值结果。该方法能够通过模块化方式协同完成对敏感材料的快速筛选，还可用于气氛的定性检测识别。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mems 芯片 材料 快速 筛选 装置 方法 | ||
【主权项】：
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