[发明专利]一种光纤孔的加工方法及基于其的加工设备有效
| 申请号： | 202211169853.9 | 申请日： | 2022-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN115421254B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 侯煜;李朋;李曼;石海燕;张昆鹏;岳嵩;王然;张喆;文志东;薛美;张紫辰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G02B6/38 | 分类号： | G02B6/38 |
| 代理公司： | 北京兰亭信通知识产权代理有限公司 11667 | 代理人： | 袁铭广 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种光纤孔的加工方法及基于其的加工设备，该光纤孔的加工方法包括：提供一玻璃基板，玻璃基板具有相对的第一端面和第二端面；玻璃基板内形成有至少一个改性区，每个改性区均经激光分层加工改性而成，且每个改性区均贯穿第一端面和第二端面。将玻璃基板放入带有磁性粉末的氢氟酸溶液中。在承载有磁性粉末的氢氟酸溶液的周围外加交流磁场，驱动氢氟酸溶液流动，选择性腐蚀掉每个改性区中的材料，以在玻璃基板内形成至少一个光纤孔。采用带有磨料的高压水导光纤对每个光纤孔的孔壁进行旋转抛光。提高光纤孔孔壁的平整均匀度，减少后续光在波导内传播受到影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光纤 加工 方法 基于 设备 | ||
【主权项】：
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