[发明专利]一种半导体激光器阵列结构在审
申请号: | 202211177581.7 | 申请日: | 2022-09-27 |
公开(公告)号: | CN115275785A | 公开(公告)日: | 2022-11-01 |
发明(设计)人: | 渠红伟;郑美好;周旭彦;张建心;隋佳桐;张宇 | 申请(专利权)人: | 潍坊先进光电芯片研究院;中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | H01S5/40 | 分类号: | H01S5/40;H01S5/024;H01S5/065;H01S5/068;H01S5/22;H01S5/30 |
代理公司: | 济南泉城专利商标事务所 37218 | 代理人: | 张冉冉 |
地址: | 261000 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明涉及半导体激光器技术领域,特别公开了一种半导体激光器阵列结构。它包括边缘发光单元和中心发光单元,在总的发光面积不变的情况下,所述边缘发光单元和中心发光单元进行同样的变形,所有中心发光单元的面积相同且小于边缘发光单元的面积,内侧的边缘发光单元的面积不大于其相邻外侧的面积。本发明在保证发光单元总的发光面积不变的情况下,阵列各发光单元的周期相同,适当增加了边缘发光单元尺寸、适当减小了中心发光单元尺寸,使得整个阵列各个发光单元散热更加均匀,有效改善阵列温度分布均匀性,提阵列波长一致性。同时,本发明把发光单元的形状改为喇叭口形或锥形,可抑制高阶模,减少横向发散角,达到了改善光束质量的目的。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体激光器 阵列 结构 | ||
【主权项】:
暂无信息
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