[发明专利]一种含光致酸产生剂光敏聚合物及其制备方法有效
| 申请号： | 202211180931.5 | 申请日： | 2022-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN115594790B | 公开（公告）日： | 2023-09-19 |
| 发明（设计）人： | 刘斌;权京哲 | 申请（专利权）人： | 苏州威迈芯材半导体有限公司 |
| 主分类号： | C08F220/18 | 分类号： | C08F220/18;C08F220/38;C08F220/28 |
| 代理公司： | 苏州吴韵知识产权代理事务所(普通合伙) 32364 | 代理人： | 姜帆 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种含光致酸产生剂光敏聚合物，本发明的含光致酸产生剂光敏聚合物的制备方法，光敏聚合物可以通过包括光酸产生剂来制备为光敏聚合物，其中乙烯基被引入脂环中，从而使将光致酸产生剂在抗蚀剂中的降低不均匀性和浓度，达到改善线边缘粗糙度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 含光致酸 产生 光敏 聚合物 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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