[发明专利]一种具有周期性纳米级微裂纹结构的铌酸铋钙薄膜材料及其制备方法在审
| 申请号： | 202211191375.1 | 申请日： | 2022-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN115505880A | 公开（公告）日： | 2022-12-23 |
| 发明（设计）人： | 周志勇;李宜冠 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;C23C14/08 |
| 代理公司： | 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 | 代理人： | 曹芳玲;郑优丽 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种具有周期性纳米级微裂纹结构的铌酸铋钙薄膜材料及其制备方法。所述具有周期性纳米级微裂纹结构的铌酸铋钙薄膜材料的制备方法为：采用脉冲激光沉积法，包括：选择可使薄膜产生张应力并有良好晶格匹配关系的单晶衬底，在0.1mbar～0.2mbar沉积氧压下利用脉冲激光轰击烧蚀Bi过量的CBN靶材进行沉积，并在一定氧压下直接降温冷却，获得具有周期性纳米级微裂纹结构的铌酸铋钙薄膜材料；其中，单晶衬底为铌掺杂钛酸锶或钛酸锶单晶衬底；激光脉冲次数5000～15000次。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 周期性 纳米 裂纹 结构 铌酸铋钙 薄膜 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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