[发明专利]太阳电池叠层原位掺杂层及其制备方法

摘要

本发明提供了一种太阳电池叠层原位掺杂层及其制备方法，所述制备方法包括以下步骤：S1：将插入石墨舟的硅片置于恒温且真空的炉管内；S2：在所述炉管内通入硅烷、磷烷和氩气，同时控制所述炉管内压力恒定；S3：对所述硅片进行辉光放电，获得叠层原位掺杂层，所述叠层原位掺杂层包括至少2个膜层；S4：辉光放电完成后，将所述炉管抽真空；S5：使用氮气或氩气吹扫所述炉管；S6：吹扫完成后，将所述炉管抽真空；S7：使所述炉管内的压力恢复正常大气压；S8：将石墨舟从所述炉管里取出。本发明制备的太阳电池叠层原位掺杂层包括至少2个膜层，可以对各个膜层的掺杂浓度及厚度进行控制。