[发明专利]一种二氧化钛光栅的制备方法及其二氧化钛光栅有效
| 申请号： | 202211195156.0 | 申请日： | 2022-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN115308828B | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 林政勋;郭轲科 | 申请（专利权）人： | 江苏邑文微电子科技有限公司;无锡邑文电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 黄亚茹 |
| 地址： | 226400 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种二氧化钛光栅的制备方法及其二氧化钛光栅，涉及光电器件制备方法的技术领域；该制备方法包括：提供基板和具有二氧化钛光栅图案的母版；依次在基板上形成二氧化钛膜层和压印胶层；利用压印、刻蚀工艺将所述母版上的图案转移到二氧化钛膜层上，形成二氧化钛光栅；其中，二氧化钛膜层和压印胶层上均不设置其他刻蚀阻挡层；二氧化钛光栅的纵宽比为1/6~1/2。本申请提供的二氧化钛光栅的制备方法可获得侧壁倾斜角接近90°的二氧化钛光栅结构，且制备过程中无需在二氧化钛膜层上增加除压印胶层以外的其他顶层材料，简化了二氧化钛光栅生产工艺，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 光栅 制备 方法 及其 | ||
【主权项】：
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