[发明专利]腔内漏率测试的自动控制方法和装置有效
| 申请号： | 202211195157.5 | 申请日： | 2022-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN115307841B | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 阮正华;顾锐 | 申请（专利权）人： | 江苏邑文微电子科技有限公司;无锡邑文电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/26 | 分类号： | G01M3/26 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 何明伦 |
| 地址： | 226400 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种腔内漏率测试的自动控制方法和装置，其中方法包括：基于待测漏的工艺腔体各个工作环节的真空度极大值，确定测漏条件极值，并基于测漏条件极值，确定漏率计算延时；基于工艺腔体各个维护环节的最大维护时长，确定真空抽取延时；工艺腔体的现行运行状态维持在闲置状态的时间不小于真空抽取延时时，对工艺腔体进行抽真空操作；若在抽真空操作过程中监测的实时压力值和多个历史压力值的变化幅度小于预设阈值，且实时压力值和历史压力值的平均值不大于测漏条件极值时，停止抽真空操作；待抽真空操作的结束时间不小于漏率计算延时时，计算工艺腔体的漏率。本发明实现了工艺腔体测漏的全流程自动化，提高了工艺腔体测漏的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 腔内漏率 测试 自动控制 方法 装置 | ||
【主权项】：
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