[发明专利]一种消除太阳能电池绕扩、绕度的装置在审
| 申请号： | 202211197604.0 | 申请日： | 2022-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN115497856A | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | 夏新中;孟庆超;王红芳;潘明翠;翟金叶;郎芳 | 申请（专利权）人： | 英利能源发展有限公司;英利能源发展（天津）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L21/677 |
| 代理公司： | 河北国维致远知识产权代理有限公司 13137 | 代理人： | 赵宝琴 |
| 地址： | 071051 河北省保定*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种消除太阳能电池绕扩、绕度的装置，属于半导体器件技术领域。本发明提供的一种消除太阳能电池绕扩、绕度的装置，包括载片舟及沉积炉，载片舟包括舟体，舟体上设置有多组插片槽，插片槽的宽度大于硅片的厚度；沉积炉包括炉管主体、旋转组件以及驱动件，旋转组件包括转轴和用于支撑固定舟体的底托，转轴与炉管主体转动连接，转轴沿竖直方向贯穿炉管主体的底部，底托设置在转轴顶部，驱动件驱动转轴转动。本发明提供的一种消除太阳能电池绕扩、绕度的装置，硅片插入插片槽中，硅片背面贴紧插片槽远离舟体中心一侧的舟壁上，载片舟设置在底托上，转轴转动，利用离心力将硅片紧贴在舟壁上，避免绕扩或绕镀的发生，提升了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 消除 太阳能电池 装置 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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