[发明专利]一种废气处理用热流炮在审
| 申请号： | 202211201006.6 | 申请日： | 2022-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN115414733A | 公开（公告）日： | 2022-12-02 |
| 发明（设计）人： | 崔汉博;崔汉宽 | 申请（专利权）人： | 上海高笙集成电路设备有限公司 |
| 主分类号： | B01D45/08 | 分类号： | B01D45/08;B01D53/86;B01D53/00;H05B3/00 |
| 代理公司： | 上海老虎专利代理事务所(普通合伙) 31434 | 代理人： | 葛瑛 |
| 地址： | 200000 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于废气处理技术领域，具体为一种废气处理用热流炮，包括：上真空管、下真空管和横向真空管，所述横向真空管呈横向水平设置，所述上真空管设置在横向真空管的上表面右侧，所述下真空管设置在横向真空管的下表面左侧，所述上真空管、下真空管和横向真空管之间连通，形成一个废气流通通道，废气从上真空管进入横向真空管内，并从下真空管流出；加热器，所述横向真空管的左端设置为开口状。在真空管道内部通过加热阻挡片加热，同时对流动的废气进行阻挡，废气中的灰尘沉降，通过控制器控制加热阻挡片加热，对进入的制程废气进行加热、过滤，从而缓解真空管路拥堵，延长管路PM周期，降低了真空干燥泵卡死的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 废气 处理 热流 | ||
【主权项】：
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