[发明专利]粒子束系统在审
| 申请号： | 202211210551.1 | 申请日： | 2022-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN115931940A | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | G.沃尔特;H.多默;W.伯杰 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N23/22 | 分类号： | G01N23/22 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种粒子束系统，该粒子束系统包括粒子束柱、检测系统40和控制器30。该粒子束柱被配置用于产生粒子束并将其引导到样品上，由此该样品发射带电粒子41。该检测系统40用于检测这些带电粒子41并且包括可以使带电粒子41加速的电极E、向电极E施加可调电势的电势源42、闪烁体43、和输出检测信号的光检测器44。该控制器30控制该电势源42并且被配置为基于该检测信号来改变电势，使得该闪烁体43在其饱和之外操作并且使得该光检测器44在其饱和之外操作。 | ||
| 搜索关键词： | 粒子束 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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