[发明专利]制造波导组合器的方法在审
| 申请号： | 202211223884.8 | 申请日： | 2018-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN115663442A | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 迈克尔·于-泰克·扬;韦恩·麦克米兰;罗格·梅耶·蒂默曼·蒂杰森;罗伯特·简·维瑟 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01P11/00 | 分类号： | H01P11/00;H01P5/19;H01P5/18 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文所描述的实施方式涉及用于制造波导组合器的方法。所述方法提供波导组合器，所述波导组合器具有限定精细光栅的由无机或混合(有机和无机)材料形成的输入耦合区域、波导区域和输出耦合区域。在一个实施方式中，由压印印模形成波导结构，所述压印印模在设置在基板的表面上的抗蚀剂上具有正波导图案以形成负波导结构。将所述无机或混合材料沉积在所述基板上并然后移除所述抗蚀剂以形成具有与由无机或混合(有机和无机)材料形成的输入耦合区域、波导区域和输出耦合区域中的至少一个相对应的区域的波导结构。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 波导 组合 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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