[发明专利]检查装置和检查方法在审
| 申请号： | 202211226623.1 | 申请日： | 2022-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN115993470A | 公开（公告）日： | 2023-04-21 |
| 发明（设计）人： | 小西显太朗 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;G01R1/073;G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;何中文 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及检查装置和检查方法，检查装置包括：可载置基片的载置部件；保持探针卡的保持部，该探针卡具有与基片接触的探针；与载置部件的上表面或保持部的下表面接触来规定载置部件相对于探针的高度的多个定位部件；用于调节定位部件的高度的调节机构；用于检测探针、载置部件和定位部件的检测部；和控制部，其执行如下步骤：使用检测部获取探针的高度、载置部件的高度、定位部件的高度的步骤：基于使用检测部得到的探针、载置部件和定位部件的检测结果，使用调节机构将定位部件定位在过驱动量为零的基准高度的步骤；和获取成为所希望的过驱动量的定位部件的高度，一边调整调节机构的驱动量一边使载置部件上升直到定位部件处于该高度的步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东京毅力科创株式会社，未经东京毅力科创株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202211226623.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
