[发明专利]器件镀膜方法、镀膜轨道以及器件镀膜机构在审
| 申请号： | 202211227418.7 | 申请日： | 2022-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN115652273A | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 邢发军;郏晓彤 | 申请（专利权）人： | 江苏长电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 杭州五洲普华专利代理事务所(特殊普通合伙) 33260 | 代理人： | 朱林军 |
| 地址： | 214400 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了器件镀膜方法、镀膜轨道以及器件镀膜机构，其中，器件镀膜方法包括：提供载具，将待镀膜器件设置在载具上；提供镀膜轨道和托盘，镀膜轨道具有相互对接的第一段坡道和第二段坡道，第一段坡道和第二段坡道均具有高端和低端，第一段坡道的高端和第二段坡道的高端对接；将载具安装在托盘上，采用物理气相沉积方式进行镀膜，镀膜轨道的第一段坡道和第二段坡道的对接处位于镀膜源下方，镀膜时，托盘带动载具往复移动，在待镀膜器件的正面和侧面形成镀膜层。本申请载具在第一段坡道和第二段坡道往复移动时，器件侧面由竖直变为与竖直成一定角度，接受自上而下沉积的镀膜原子的概率增加，能够有效降低器件侧面和正面之间的镀膜厚度差。 | ||
| 搜索关键词： | 器件 镀膜 方法 轨道 以及 机构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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