[发明专利]DK炉管清洗方法在审
| 申请号： | 202211230298.6 | 申请日： | 2022-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN115707527A | 公开（公告）日： | 2023-02-21 |
| 发明（设计）人： | 缪燃 | 申请（专利权）人： | 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/02 | 分类号： | B08B9/02;B08B3/08;B08B13/00;F26B21/14 |
| 代理公司： | 杭州融方专利代理事务所(普通合伙) 33266 | 代理人： | 沈相权 |
| 地址： | 311201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种DK炉管清洗方法，所属芯片制造加工设备技术领域，包括如下操作步骤：第一步：DK炉管进行酸洗，使用的酸溶液由去离子水，氢氟酸和硝酸组成；酸溶液的H2O：HF：HNO3体积比在9：3：1～200：65：12之间。第二步：采用UPW进行冲洗，每次冲洗10分钟，冲洗5次，冲洗后将污水进行排水作业。第三步：DK炉管冲洗完成后采用N2吹干，DK炉管在N2柜中干燥吹干时间≥12小时。第四步：DK炉管进行酸性检测，使用PH试纸对炉管内测进行酸性检验，若PH值为7则洗净完毕，若PH值不为7则另行UPW冲洗，然后DK炉管还需要取出重新在在N2柜中干燥吹干时间≥12小时。具有操作简单、清洗彻底和稳定性好的特点。解决了炉管清洗难度大的问题。 | ||
| 搜索关键词： | dk 炉管 清洗 方法 | ||
【主权项】：
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