[发明专利]一种金属膜厚的实时测量方法在审
| 申请号： | 202211230651.0 | 申请日： | 2022-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN116175396A | 公开（公告）日： | 2023-05-30 |
| 发明（设计）人： | 白琨;李嘉浪;张康;贾若雨;孟晓云;周庆亚 | 申请（专利权）人： | 北京晶亦精微科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/005 | 分类号： | B24B37/005;B24B49/10;B24B41/00 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 刘贺秋 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种金属膜厚的实时测量方法，包括：提供第一标定晶圆至第N标定晶圆，任意第n标定晶圆的表面具有第n金属膜；获取第一金属膜的第一温度补偿标定系数至第N金属膜的第N温度补偿标定系数；拟合出膜厚预测函数；提供待测晶圆，待测晶圆的表面具有待测金属膜；对待测金属膜进行抛光处理，获取待测金属膜的温度变化量；获得对应温度变化量的初始测试涡流信号；获取第n标定预测涡流信号；获取温度补偿预测函数；获取初始测试涡流信号在温度补偿预测函数中对应的温度补偿预测系数；获取补偿涡流信号；获取补偿涡流信号在膜厚预测函数中对应的待测金属膜的测试厚度。上述金属膜厚的实时测量方法，提高了金属膜厚实时测量的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属膜 实时 测量方法 | ||
【主权项】：
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