[发明专利]换热装置、单晶炉及单晶生产系统在审
申请号: | 202211242695.5 | 申请日: | 2022-10-11 |
公开(公告)号: | CN115682808A | 公开(公告)日: | 2023-02-03 |
发明(设计)人: | 钟伟;请求不公布姓名;请求不公布姓名 | 申请(专利权)人: | 三一硅能(株洲)有限公司 |
主分类号: | F28F1/40 | 分类号: | F28F1/40;F27D9/00;F27D1/12;C30B29/06;C30B15/00 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 耿向宇 |
地址: | 412000 湖南省株洲市石峰区铜塘*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明涉及单晶硅生产技术领域,提供一种换热装置、单晶炉及单晶生产系统。换热装置包括:换热管,用于供换热介质流通;换热板,设置于换热管内并沿换热管的长度方向延伸,换热板与换热管的内壁连接,且换热板两侧的表面均与换热管的内壁之间具有间隙,用于供换热介质通过,换热板的导热率高于换热介质的导热率。换热装置通过在换热管内部设置换热板,能够提高换热装置与换热介质的换热效率,从而使换热装置能够提供更好的冷却效果,同时由于换热板设置在换热管的内部,因此不会增大换热管的体积,达到了在不增加换热装置的体积的前提下,提高换热装置的换热效率的效果。 | ||
搜索关键词: | 装置 单晶炉 生产 系统 | ||
【主权项】:
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