[发明专利]一种具有光学自细分功能的二维点阵光栅面内位移传感器在审
| 申请号： | 202211243661.8 | 申请日： | 2022-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN115655118A | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 辛晨光;马霄琛;李孟委 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 太原荣信德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14119 | 代理人： | 连慧敏 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明属于位移传感器技术领域，具体涉及一种具有光学自细分功能的二维点阵光栅面内位移传感器，包括激光器、准直扩束器、上层光栅、下层四象限阵列光栅、四象限探测器、细分电路模块，所述激光器的光路方向上设置有准直扩束器，所述准直扩束器的光路方向上设置有上层光栅，所述上层光栅的光路方向上设置有下层四象限阵列光栅，所述下层四象限阵列光栅的光路方向上设置有四象限探测器，所述四象限探测器与细分电路模块电性连接。本发明实现了面内位移高分辨检测功能。基于光学自成像细分成像效应，实现了变化周期为光栅周期的二分之一的光学细分，解决了传统双层光栅位移传感器无法实现光学细分的难题，提高了位移分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 光学 细分 功能 二维 点阵 光栅 位移 传感器 | ||
【主权项】：
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