[发明专利]一种具有运动姿态自测功能的MEMS惯性振动系统及制备方法在审
| 申请号： | 202211254502.8 | 申请日： | 2022-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN115574811A | 公开（公告）日： | 2023-01-06 |
| 发明（设计）人： | 董林玺;邢运宏;俞挺 | 申请（专利权）人： | 杭州电子科技大学 |
| 主分类号： | G01C21/16 | 分类号： | G01C21/16;G01C25/00 |
| 代理公司： | 浙江千克知识产权代理有限公司 33246 | 代理人： | 冷红梅 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及惯性传感器技术领域，具体涉及一种具有运动姿态自测功能的MEMS惯性振动系统及制备方法，包括：惯性振动平台，其以多方向自由度运动，方向与惯性振动平台受到电压激励信号而产生的协同弯曲振动相符；PMUT阵列，以预设间隔阵列分布在惯性振动平台底面，与惯性振动平台底面键合，PMUT阵列包括若干个发射子阵列和若干个接收子阵列，发射子阵列和接收子阵列一一对应，发射子阵列及接收子阵列均包括若干个PMUT单管，若干个PMUT单管相互连接组成发射子阵列或接收子阵列。本发明的有益技术效果包括：能够对MEMS惯性振动平台进行运动状态自监测，为MEMS惯性传感器的自校准提供参考，简化自校准实现方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 运动 姿态 自测 功能 mems 惯性 振动 系统 制备 方法 | ||
【主权项】：
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