[发明专利]用于单晶炉的防晶棒掉落装置和单晶炉在审

专利信息
申请号: 202211268657.7 申请日: 2022-10-17
公开(公告)号: CN115679435A 公开(公告)日: 2023-02-03
发明(设计)人: 杨文武;张雯 申请(专利权)人: 西安奕斯伟材料科技有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253 代理人: 宋东阳;姚勇政
地址: 710065 陕西省西安市*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 本公开涉及用于单晶炉的防晶棒掉落装置和单晶炉,该用于单晶炉的防晶棒掉落装置包括设置在单晶炉的副炉室处的感测装置、抱接装置和止挡件,其中,感测装置用于感测晶棒是否发生掉落;抱接装置包括单独的抱接件,抱接装置用于根据感测装置感测到晶棒发生掉落而使抱接件抱接并固定至晶棒的外表面;以及止挡件设置在抱接装置的下方,并且止挡件构造成能够止挡随掉落的晶棒下落的抱接件,以由此止挡晶棒。
搜索关键词: 用于 单晶炉 防晶棒 掉落 装置
【主权项】:
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