[发明专利]一种3D存储阵列及其制备方法、电子设备在审
申请号: | 202211275548.8 | 申请日: | 2022-10-18 |
公开(公告)号: | CN116209254A | 公开(公告)日: | 2023-06-02 |
发明(设计)人: | 戴瑾;余泳;梁静 | 申请(专利权)人: | 北京超弦存储器研究院 |
主分类号: | H10B12/00 | 分类号: | H10B12/00 |
代理公司: | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人: | 吴凤凰;栗若木 |
地址: | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 3D存储阵列及其制备方法、电子设备,3D存储阵列包括:多层垂直堆叠的存储阵列,多条垂直延伸的写字线;存储阵列包括阵列分布的多个存储单元、多条读位线和多条写位线,存储单元包括:第一晶体管和水平沟道的第二晶体管,第一晶体管包括第一栅极、第一电极、第二电极和第一半导体层;第二晶体管包括第三电极、第四电极、沿垂直于衬底方向延伸的第二栅极,以及,环绕第二栅极的第二半导体层,第一栅极与第二半导体层连接;不同层相邻的存储单元的第二栅极连接同一写字线;同层同列的存储单元的第一电极连接同一读位线,第四电极连接同一写位线。本实施例提供的方案,提供一种新型的存储阵列结构设计,有利于实现结构简单且制作较容易的3D存储阵列。 | ||
搜索关键词: | 一种 存储 阵列 及其 制备 方法 电子设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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