[发明专利]飞秒激光微纳加工装置及方法在审
| 申请号： | 202211277153.1 | 申请日： | 2022-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN115647572A | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 周明;冯世嘉;杨名扬;林佳聪 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;B23K26/064 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 郭亮 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区双清路*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种飞秒激光微纳加工装置及方法，涉及激光微纳加工技术领域。飞秒激光微纳加工装置包括光源组件、光束聚焦组件和控制组件，光源组件适于发射激光光束，光束聚焦组件适于将激光光束转换为贝塞尔光束并聚焦贝塞尔光束，控制组件适于控制贝塞尔光束的聚焦点与工件之间的相对位置。应用本发明提供的飞秒激光微纳加工装置及方法，可以实现对工件的高精度加工，提高成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 加工 装置 方法 | ||
【主权项】：
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