[发明专利]一种蒸镀掩膜版及其制作方法、蒸镀设备在审
| 申请号： | 202211287226.5 | 申请日： | 2022-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN115948710A | 公开（公告）日： | 2023-04-11 |
| 发明（设计）人： | 白珊珊;李彦松;刘华猛;关新兴 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H10K71/16 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 姚楠 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蒸镀掩膜版及其制作方法、蒸镀设备，该蒸镀掩膜版包括：掩膜本体，所述掩膜本体具有贯穿厚度方向的多个通孔，一个通孔对应一个显示面板，所述掩膜本体与所述显示面板的衬底基板具有相同的热形变特性；限定掩膜层，设置在所述掩膜本体的一侧，所述限定层掩膜用于形成所述显示面板所需的蒸镀图形；所述衬底基板位于所述限定掩膜层远离所述掩膜本体的一侧，所述掩膜本体的厚度远大于所述限定掩膜层的厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸镀掩膜版 及其 制作方法 设备 | ||
【主权项】：
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