[发明专利]感光性树脂组合物和固化浮雕图案的制造方法在审
| 申请号： | 202211288409.9 | 申请日： | 2017-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN115755526A | 公开（公告）日： | 2023-03-07 |
| 发明（设计）人： | 赖末友裕;中村光孝;井上泰平;平田竜也;佐佐木隆弘 | 申请（专利权）人： | 旭化成株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/037 | 分类号： | G03F7/037;G03F7/038;G03F7/004;C08G73/10;C08G73/12;C08G73/22;G03F7/20;G03F7/30;G03F7/40;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种负型感光性树脂组合物，其在200℃以下的低温固化条件下酰亚胺化率也良好、能得到耐化学药品性高的树脂层，所述负型感光性树脂组合物相对于(A)聚酰亚胺前体100质量份以0.1质量份～20质量份的比例包含(B)光聚合引发剂，(A)聚酰亚胺前体为具有特定结构的聚酰胺酸酯或聚酰胺酸盐，(A)聚酰亚胺前体的重均分子量(Mw)以基于凝胶渗透色谱(GPC)的聚苯乙烯换算计为3000以上且不足16000。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 固化 浮雕 图案 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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