[发明专利]一种喷砂回收利用的装置在审
| 申请号： | 202211292137.X | 申请日： | 2022-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN115723059A | 公开（公告）日： | 2023-03-03 |
| 发明（设计）人： | 罗昊;姚科新;黄春峰;曹锦伟;李仕权;王彦君;孙晨光;韩少锋 | 申请（专利权）人： | 中环领先半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B24C9/00 | 分类号： | B24C9/00 |
| 代理公司： | 苏州高专知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32474 | 代理人： | 冷泠 |
| 地址： | 214000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种喷砂回收利用的装置，包括过滤桶，所述过滤桶的底部一侧设置有导出管，所述导出管的一端设置有循环泵，所述循环泵的输送端设置有循环管，所述循环管的外端设置有三向阀门，所述三向阀门对应的过滤桶顶部设置有放料口，所述放料口的内侧设置有过滤网。该一种喷砂回收利用的装置，在进行日常使用的过程中，通过控制循环砂过滤去杂以及成品循环配比砂浆使用方式，实现砂浆循环重复利用，大幅度降低生产成本，回收砂回收率达到50％，达到预期效果，回收沙粒度分析与新砂对比无明显差异，喷砂硅片OISF监控密度数据稳定，缺陷形貌未发生变化；产品最终体金属测试无异常。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 喷砂 回收 利用 装置 | ||
【主权项】：
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