[发明专利]一种射频超导腔缓冲化学腐蚀装置及方法在审
| 申请号： | 202211292776.6 | 申请日： | 2022-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN115589767A | 公开（公告）日： | 2023-01-10 |
| 发明（设计）人： | 陈明伦;张宁峰;黄俊峰;张国华;游雨松;牟民;赵伟东;李众 | 申请（专利权）人： | 宁夏东方钽业股份有限公司;宁夏东方超导科技有限公司 |
| 主分类号： | H10N60/01 | 分类号： | H10N60/01;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理有限公司 11363 | 代理人： | 逯长明;占园 |
| 地址： | 751600 宁夏*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种射频超导腔缓冲化学腐蚀装置及方法。射频超导腔缓冲化学腐蚀方法应用上述射频超导腔缓冲化学腐蚀装置，采用酸液水平进出，酸液充填射频超导腔体积的50％，同时射频超导腔是旋转的，射频超导腔不同位置射频面与酸液接触的时间接近，解决了射频射频超导腔不同位置酸流动速度不同的问题，酸液温度均匀性有较大改善，产生的废气可随酸液排出，不会产生气室，避免了射频面的二次缺陷，解决在射频超导腔缓冲化学腐蚀的过程中，不能控制射频超导腔射频面腐蚀均匀去除的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 射频 超导 缓冲 化学 腐蚀 装置 方法 | ||
【主权项】：
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