[发明专利]一种用于电子束精密调控的多级偏压电源在审
| 申请号： | 202211294940.7 | 申请日： | 2022-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN115664212A | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 张伟 | 申请（专利权）人： | 星航高能科技（南京）有限公司;南京晟源企业管理合伙企业（有限合伙） |
| 主分类号： | H02M3/28 | 分类号： | H02M3/28;H02M3/335;H02M1/08;H02M3/156;H02M7/02 |
| 代理公司： | 南京睿之博知识产权代理有限公司 32296 | 代理人： | 杨雷 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市江宁空港*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于电子束精密调控的多级偏压电源，其中：束流反馈电路采集电子束流反馈值并将其发送给单片机控制电路，单片机控制电路根据电子束流给定值和电子束流反馈值计算电压设定值并将其发送给偏压调节低压电路，偏压调节低压电路连接偏压调节高压电路，偏压调节高压电路的正输出端连接电子枪阴极灯丝，偏压调节高压电路的负输出端连接电子枪栅极。所述偏压调节低压电路包括偏压粗调电源电路、偏压细调电源电路和束流封闭电源电路。本发明大大提高了束流封闭的可靠性；可以大大提高电子束流调节的动态响应速度；可以大大提高偏压电源和电子束流的调节精度，从而实现小束流和大束流输出的高精度控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 电子束 精密 调控 多级 偏压 电源 | ||
【主权项】：
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