[发明专利]一种肖特基二极管、制备方法及芯片在审
申请号: | 202211310500.6 | 申请日: | 2022-10-25 |
公开(公告)号: | CN115663016A | 公开(公告)日: | 2023-01-31 |
发明(设计)人: | 王威;黄汇钦 | 申请(专利权)人: | 天狼芯半导体(成都)有限公司 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L21/329;H01L29/872 |
代理公司: | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人: | 阳方玉 |
地址: | 610000 四川省成都市高新*** | 国省代码: | 四川;51 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本申请属于半导体技术领域,提供了一种肖特基二极管、制备方法及芯片,肖特基二极管包括:半导体衬底、沟道层、第一势垒层、第二势垒层、第一P柱、第二P柱、阴极电极单元以及阳极电极单元;本申请通过设置阳极电极单元为肖特基金属,且阳极电极单元与第一P柱、第二P柱接触,使得是阳极电极单元与第一P柱之间为肖特基接触,阳极电极单元与第二P柱之间为肖特基接触,可以使得阳极电极单元与第一P柱、第二P柱之间存在较高的肖特基势垒高度,进而减小阳极电极单元的泄漏电流,提供较高的正向阈值电压,从而提升肖特基二极管的击穿电压电压。 | ||
搜索关键词: | 一种 肖特基 二极管 制备 方法 芯片 | ||
【主权项】:
暂无信息
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