[发明专利]一种肖特基二极管、制备方法及芯片在审

专利信息
申请号: 202211310500.6 申请日: 2022-10-25
公开(公告)号: CN115663016A 公开(公告)日: 2023-01-31
发明(设计)人: 王威;黄汇钦 申请(专利权)人: 天狼芯半导体(成都)有限公司
主分类号: H01L29/06 分类号: H01L29/06;H01L21/329;H01L29/872
代理公司: 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 代理人: 阳方玉
地址: 610000 四川省成都市高新*** 国省代码: 四川;51
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 本申请属于半导体技术领域,提供了一种肖特基二极管、制备方法及芯片,肖特基二极管包括:半导体衬底、沟道层、第一势垒层、第二势垒层、第一P柱、第二P柱、阴极电极单元以及阳极电极单元;本申请通过设置阳极电极单元为肖特基金属,且阳极电极单元与第一P柱、第二P柱接触,使得是阳极电极单元与第一P柱之间为肖特基接触,阳极电极单元与第二P柱之间为肖特基接触,可以使得阳极电极单元与第一P柱、第二P柱之间存在较高的肖特基势垒高度,进而减小阳极电极单元的泄漏电流,提供较高的正向阈值电压,从而提升肖特基二极管的击穿电压电压。
搜索关键词: 一种 肖特基 二极管 制备 方法 芯片
【主权项】:
暂无信息
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