[发明专利]一种用于谐振陀螺石英件离子束刻蚀的方法及加速器装置在审
| 申请号： | 202211314949.X | 申请日： | 2022-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN115763196A | 公开（公告）日： | 2023-03-07 |
| 发明（设计）人： | 郑林;赵坤;吴洪文;李媛;张志刚;李基伍;蒋效雄;崔云涛;王得信;张毅 | 申请（专利权）人： | 中国船舶集团有限公司第七〇七研究所 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02;H01J37/305;H05H1/54;G01C19/5769 |
| 代理公司： | 天津中环专利商标代理有限公司 12105 | 代理人： | 杨舒文 |
| 地址： | 300131 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于谐振陀螺石英件离子束刻蚀的方法及加速器装置，将待刻蚀石英件安装在刻蚀工件台上；对真空室抽真空，向离子源内的阳极筒送氩气；启动离子源电源，离子源内的阴极灯丝两端产生电子，电子在阳极筒内无规则旋转与阳极筒内输入的氩气混合碰撞形成带正电荷的氩离子，氩离子通过离子源内的屏栅栅板和加速栅板后形成直线运动的离子束流；启动离子加速器，给高压钽丝两端通电，产生800V高压，离子束流与离子加速器产生的带负电荷的电子发生中和效应，成为中性Ar离子，中性Ar离子通过屏蔽罩持续轰击待刻蚀的石英件，形成物理溅射，进行刻蚀。本发明实现了谐振陀螺谐振子的质量调平过程中微米级去量可控的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 谐振 陀螺 石英 离子束 刻蚀 方法 加速器 装置 | ||
【主权项】：
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